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クラスターイオンビーム基礎と応用: 次世代ナノ加工プロセス出版社日刊工業新聞社 (2006/10/1)発売日2006/10/1言語日本語単行本223ページ内容説明本書は、イオンビーム技術の発展を、その技術的背景もあわせて示しながら、イオンビーム技術に初めて接する初心者にもわかりやすく説明しています。目次1 イオンビーム技術の概要(イオンの発見;イオンビーム技術の誕生 ほか)2 ガスクラスタービームの発生(ガスクラスタービームの発生の原理;ガスクラスターイオンビーム装置 ほか)3 クラスターイオンビームと固体表面相互作用(クラスターイオンの個体表面衝突現象;ガスクラスターイオンの照射効果の特長 ほか)4 ナノ加工プロセス応用(半導体デバイス応用;磁性・誘電体デバイス応用 ほか)5 産業用クラスターイオンビーム装置(ガスクラスターイオンビーム装置;デカボランイオン注入装置)
カテゴリー: | 本・雑誌・漫画>>>本>>>コンピュータ・IT |
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こどもが大変気に入っています。いつも取ってきて同じページを開いてあります(笑)
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